记者从北京市国资委获悉,在2025世界机器人大会上,由北京国企自主研发的晶圆机器人首度展出,展示了北京国企在机器人智能制造领域的最新成果。
什么是晶圆?手机、工作的电脑、家里各种智能家电,其核心芯片的基础组成材料就是晶圆。据了解,它是一种高纯度的单晶硅片,是制造各种半导体器件的基础材料,通常呈圆形薄片状,广泛应用于集成电路制造、传感器制造、功率器件制造等领域。
“晶圆的质量和性能直接影响半导体器件的性能和可靠性,因此晶圆制造和搬运是一个高度精密和严格控制的过程,既要避免晶圆表面产生划痕,又不能因为搬运晶圆的机器人自身运动产生任何微小颗粒。因为一个微米级的尘埃可能就会导致整片晶圆报废。”世界机器人大会参展企业京城机电相关负责人表示,目前,企业已实现晶圆搬运机器人关键核心技术自主可控。
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